SEM掃描式電子顯微鏡:電子信號種類與應用

SEM掃描式電子顯微鏡使用電子束而非可見光成像,因此相較於光學顯微鏡具有更高解析度,通常用於觀察微觀結構。此外,依據不同的應用需求,使用者可透過不同的偵測器接收不一樣的電子信號種類,以取得樣品從不同觀測角度的互補資訊。以下將介紹SEM的成像原理,並說明常見的電子信號種類及其特色。

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