桌上型掃描電子顯微鏡(SEM)加速研發進程的原因
當越來越多的領域走向微型化製造,光學顯微鏡設備漸難以滿足檢測需求,產線需要更高倍率、高解析的即時資訊,與此同時,桌上型掃描式電子顯微鏡(SEM)為何能挾帶其優勢並從中脫穎而出?
當越來越多的領域走向微型化製造,光學顯微鏡設備漸難以滿足檢測需求,產線需要更高倍率、高解析的即時資訊,與此同時,桌上型掃描式電子顯微鏡(SEM)為何能挾帶其優勢並從中脫穎而出?
隨著各產業生產元件越趨微型化,顯微分析設備的添購或汰換似乎成為各家競爭搶奪市場的關鍵。然而,光學顯微鏡和掃描式電子顯微鏡(SEM)之間有何差異?除了價格外,還應該考量的是應用範圍,包含是否需做EDS分析、樣品解析需求、有何觀測限制等。
SEM掃描式電子顯微鏡使用電子束而非可見光成像,因此相較於光學顯微鏡具有更高解析度,通常用於觀察微觀結構。此外,依據不同的應用需求,使用者可透過不同的偵測器接收不一樣的電子信號種類,以取得樣品從不同觀測角度的互補資訊。以下將介紹SEM的成像原理,並說明常見的電子信號種類及其特色。